美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 5863E, i 产品介绍

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 5863E, i

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 5863E, i

特点

长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%

能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计

流量范围宽 - 从3 sccm 一直到1000 slpm

耐高压等级 - 高达 1,500 psi

可拆卸式流量传感器

不受安装角度影响

能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容

电驱动阀超调

耐化学腐蚀阀门

优势

在广泛的工艺和应用范围内拥有经认可的长期稳定性和准确性

由于性能可靠，因此投资回报率出众

采用可拆卸式流量传感器，因此无需对气压进行连续监测和重新调节

由于模拟量仅为输入/输出，因此易于安装和保养

应用

化学品和石化催化剂研究和试验工艺

实验室和分析系统

生命科学实验室

太阳能