美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 SLAMf53 产品介绍

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 SLAMf53

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量计和控制器 SLAMf53

产品类型  质量流量控制器

区别  IP66认证外壳

非常适合用水管冲洗/清洗  危险区域批准

性能

流量范围-满量程容量0.003 - 2500 SLPM

精度

17025认证设备（包括线性，排除校准系统测量不确定性，符合SEMI E69标准）

±0.6% SP（20-100% FS）

±0.12% FS（<20% FS）

1100 SLPM 提升至 2500 SLPM：±0.6% FS

标准设备（包括参考标准的不确定性）

SP的±0.9%（20-100% FS）

±0.18%的FS（2-20% FS）

1100 SLPM 至 2500 SLPM：FS 的±1.0%

重复性

0.20% SP

线性

收录于《准确性》

响应时间-常闭

<1秒加速到100 lpm

<3秒到2500 lpm

多气体多量程

标准

最大压力

最高100 lpm：1500 psi/100 bar

最高50 lpm：4500psi/310 bar（可选）

100-2500液分/分钟：1000 psi/70巴

控制范围

1-50 SLPM：F.S. 100：1 拒绝。

50-2500 LPM：F.S. 50：1 拒绝。

零点稳定性

< 每年0.2%的法兰西

温度系数

零：<0.05%的F.S.每°C

跨度：< 0.1% 的 S.P. 每 °C

压力系数

±0.03% 每 psi（0-200 psi）N2

灵敏度

<0.2% F.S.重新归零后与指定精度的最大偏差

等级

最大温度65或C

压差范围

控制器

最高50 lpm：5 psi/0.35 bar min - 最大1500 psi/103.4 bar

50-100 LPM：10 psi/0.69 bar min - 50 psi/3.45 bar 最大压力

500 LPM：7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar 最大压力

1000液分/分钟：14.5 psi/1.00巴最小- 300 psi/20.0巴最大压力

2500液分/分钟：35.0 psi/2.41巴 最小- 300 psi/20.0 巴最大压力