FUJIKIN富士金 DH−12LA−R 手动球形针阀 简介

FUJIKIN富士金  DH−12LA−R 手动球形针阀

FUJIKIN富士金  DH−12LA−R 手动球形针阀

FUJIKIN（富士金）DH-12LA-R 手动球形针阀是一款专为半导体、精细化工及分析仪器行业设计的高精度流体控制元件。

该阀门属于富士金著名的DH系列，其核心设计采用球形针阀结构。与传统尖锐锥形针阀不同，球形针结构通过球面与阀座的精密配合，实现了更平滑的流量调节曲线和极低的死区容积。这种设计不仅显著提升了调节的分辨率和重复性，还减少了流路中的湍流与颗粒物积聚，特别适用于高纯气体和易结晶流体的控制。

关键参数特点：

材质：主体采用SUS316L不锈钢（或高耐腐蚀合金），内部电解抛光，表面处理标准高。

密封：通常采用精密加工的金属对金属硬密封或改良型垫片密封，确保泄漏率低于1.0×10⁻⁹ Pa·m³/s（氦气泄漏测试）。

接口：型号中的“R"通常表示螺纹连接方式（如NPT或Rc螺纹），便于集成到紧凑管路系统中。

操作：手动调节旋钮带有刻度指示，可精确控制开度，实现从全闭到全开的无级调节。

应用领域：

该阀门广泛应用于特气柜（GC）、阀门箱（VMB）、半导体蚀刻/沉积设备、以及实验室高纯气体分析系统。其出色的耐腐蚀性和微流量调节能力，可安全处理包括腐蚀性气体（如Cl₂、HCl）、（如H₂）及高纯惰性气体。

总结：DH-12LA-R结合了富士金数十年在超高纯流体领域的制造经验，是一款兼具可靠性、安全性及精密调节功能的关键部件，适合对洁净度和控制精度有要求的场合。