杭州微纳智感科技有限公司 核心业务介绍

北崎国际贸易（北京）有限公司 供货

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杭州微纳智感科技有限公司是一家专注于微纳传感器领域的高科技企业。其核心业务和所用工艺如下：

主要业务方向

MEMS（微机电系统）传感器：设计、研发与销售，产品涵盖压力、加速度、气体、流量等传感器。

ASIC（专用集成电路）：配套传感器的信号调理与控制芯片设计。

微纳系统集成：将传感器、电路及封装集成为小型化智能模块或系统。

定制化解决方案：为工业、汽车、医疗、消费电子等行业提供微纳传感方案。

核心工艺技术

该公司运用典型的微纳加工技术，主要包括：

薄膜沉积：PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、原子层沉积等，用于形成电极、敏感层或绝缘层。

光刻与刻蚀：紫外光刻、深反应离子刻蚀（DRIE）、反应离子刻蚀（RIE）及湿法腐蚀，用于图形转移和三维结构成型。

掺杂与退火：离子注入或扩散工艺，用于调节材料的电学性能。

键合技术：阳极键合、硅-硅共晶键合或玻璃浆料键合，实现气密/真空封装。

减薄与划片：化学机械抛光（CMP）、背面减薄及激光/砂轮划片，以分离和薄化芯片。

封装与测试：晶圆级封装、塑料/陶瓷封装，以及自动化晶圆/成品测试。

简易总结：该公司的核心是MEMS传感器设计与制造，工艺上依托微纳加工技术（如光刻、刻蚀、沉积、键合）来实现微型化传感结构，并结合ASIC完成信号处理。

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