乾晶半导体（衢州）有限公司 简介

北崎国际贸易（北京）有限公司 供货

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乾晶半导体（衢州）有限公司是一家专注于碳化硅（SiC）衬底材料研发与制造的半导体企业，主要服务于功率器件领域（如新能源汽车、光伏逆变器等）。

核心业务：

公司主要从事6英寸导电型碳化硅衬底的生产，并具备向8英寸升级的能力。产品包括碳化硅晶锭、衬底片（即经过切割、研磨、抛光后的晶圆基片）。

关键工艺：

制造流程涵盖物理气相传输法（PVT）长晶、晶锭整形（磨外圆、平边）、多线切割、机械研磨、化学机械抛光（CMP）和激光打标、清洗检测等步骤。

核心设备：

长晶炉：用于高温（>2000℃）真空下通过PVT法制备碳化硅晶锭。

多线切割机：将晶锭切割为亚毫米级的晶片。

研磨与抛光机：实现晶片平坦化，其中CMP设备用于获得原子级光滑表面。

清洗与检测设备：如超声清洗机、表面缺陷检测仪及X射线衍射仪（质量控制）。