日本林泰克 MC‑3102L‑TC 耐高温质量流量控制器产品深度分析

日本林泰克 MC‑3102L‑TC 耐高温质量流量控制器产品深度分析

日本林泰克 MC‑3102L‑TC 耐高温质量流量控制器产品深度分析

日本林泰克 MC‑3102L‑TC 耐高温质量流量控制器，专为易冷凝、易升华高温气体介质开发，接气本体采用 SUS316L 不锈钢材质，Au 金属密封结构，泄漏率低，最高介质耐受温度可达 120℃，有效解决普通 MFC 遇到蒸汽、前驱体介质发生液化冷凝、管路堵塞、流量数据漂移的行业痛点。设备搭载温度补偿型质量流量传感器，流量控制精度 ±1.0% FS，重复性可达 ±0.2% FS，响应速度快；同时兼容 0‑5VDC 模拟量信号与 RS‑485 数字通讯接口，方便对接上位机、设备 PLC 控制系统。内部采用压电执行阀，阀体死容积小，阀门启闭动作迅速，金属密封结构保障长期高温工况下的气密性能，是高温气相工艺的核心流量控制元器件。

应用行业领域：半导体制造行业、新材料研发行业、光伏材料行业、高校科研气相实验行业、镀膜设备行业。

对应工艺场景：CVD 化学气相沉积、ALD 原子层沉积高温前驱体供气工艺；TEOS、金属氯化物液态、固态升华源蒸汽流量管控工艺；真空镀膜工艺混合配气工艺；高校催化反应实验气体配比工艺。既可以用于科研研发设备搭建，也适配小批量中试产线供气单元。对于介质容易降温液化的供气回路，该高温型 MFC 可以维持介质气相状态，避免管路结晶堵塞。

北崎现货，原厂拿货，可提供量程核对、高温工况配套技术咨询。