FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 真空管路隔膜阀 简介

FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 真空管路隔膜阀

FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 真空管路隔膜阀

富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀门，可同时适配高纯气体输送与高真空管路切换工艺，在半导体真空腔体、真空镀膜设备气路中大量应用。真空工况对阀门密封性能提出高要求，微小泄漏就会破坏腔体真空度，进而影响镀膜、刻蚀等制程效果。隔膜式密封结构，能够实现极低漏率，有效隔绝大气渗入真空管路。阀体经过高精度电解抛光处理，内壁粗糙度低，减少气体吸附，真空释放量小。阀驱动结构稳定，可频繁执行启闭动作，适配自动化机台的连续循环生产。6.35mm 管路接口，便于集成在狭小的设备腔体气路内部，节省供气模组安装空间，适合高密度气盘布局。北崎现货供应富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 真空隔膜阀，原厂技术支持，协助真空管路系统方案评估与泄漏测试指导。半导体、真空镀膜企业选用这款阀门，稳定维持腔体真空环境，减少真空波动带来的工艺缺陷，降低设备检漏与维护工作量，保障真空制程连续稳定生产。

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