FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 耐腐蚀工艺气体隔膜阀 简介

FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 耐腐蚀工艺气体隔膜阀 简介

FUJIKIN富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 阀 耐腐蚀工艺气体隔膜阀 简介

富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 隔膜阀，针对半导体含腐蚀性工艺气体管路开发，在刻蚀、清洗制程的特种气体供给系统中使用。腐蚀性气体对阀体耐蚀性要求严苛，一旦阀体被腐蚀，会产生颗粒、发生泄漏，带来生产安全风险与品质损失。SUS316L 高耐蚀阀体搭配金属隔膜，耐受多种半导体反应性工艺气体，长期接触腐蚀介质不易发生点蚀。隔膜密封结构，介质不会接触驱动机构，保护执行部件不受腐蚀气体侵蚀，延长阀门整体使用寿命。阀内部流道平滑，吹扫置换，不同气体切换时，减少介质残留交叉污染，保障制程气体纯度稳定。金属密封接口，抗蠕变，长期工况下密封性能稳定。北崎现货供应富士金 FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 耐腐蚀阀门，原厂技术支持，协助介质兼容性评估、管路防腐方案规划。半导体制造企业，使用这款阀门管控腐蚀性工艺气体，降低阀体腐蚀泄漏隐患，稳定气体纯度，减少管路维护频次，保障产线安全、连续生产。

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