EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵 中小流量模块化无油真空泵 光电设备 简介

EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵 中小流量模块化无油真空泵 光电设备配套

EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵 中小流量模块化无油真空泵 光电设备配套

EBARA 荏原 EV-M102N 干式真空泵，EV-M 系列中小流量模块化机型，无油风冷干式结构，集成度高，适合设备 OEM 内置配套，机身紧凑，振动控制优秀，不会干扰光学、半导体精密检测。耐蚀腔体，适配洁净气体、微量水汽工况，电气接口标准化，方便和主控 PLC 通讯，状态反馈、报警信号齐全。适用行业：光电检测设备、半导体载台锁配套、光学镀膜小样设备、锂电自动化检测、真空封装设备、在线气体分析仪器、新材料测试平台等。自动化设备厂商开发一体化真空设备时，偏爱 EV-M 系列模块化机型，方便标准化设计，减少真空系统单独设计工作量。

EV-M102N 抽速适中，适合中小腔体、负载锁这类持续需要稳定洁净真空的单元，无油设计规避产品污染风险，风冷免水冷，简化设备配套。

 北崎供应 EBARA 荏原 EV-M102N 真空泵，日本原厂货源，现货供应，原厂技术支持，面向设备集成商批量配套。国内不少光电、半导体设备厂商在自研检测、小型工艺机台中选用该型号，供货稳定，备件链路成熟。模块化结构让安装、更换更便捷，后期设备维修时拆装简单，降低设备售后维保难度，是 OEM 真空源的优选方案。