上新美国布鲁克斯BROOKS 质量流量控制器 SLA5853

# 2025年新品发布会#

日期：2025年12月23日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量控制器 SLA5853

美国布鲁克斯BROOKS 质量流量控制器 SLA5853

产品类型质量流量控制器 区别 宽流量与压力范围 长期稳定性 高精度

性能 流量范围-满量程容量0.003 - 2500 SLPM

精度 17025认证设备（包括线性，排除校准系统测量不确定性，符合SEMI E69标准）

±0.6% SP（20-100% FS）   ±0.12% FS（<20% FS）

1100 SLPM 提升至 2500 SLPM：±0.6% FS   标准设备（包括参考标准的不确定性）

SP的±0.9%（20-100% FS）   ±0.18%的FS（2-20% FS）

1100 SLPM 至 2500 SLPM：FS 的±1.0%

重复性  0.20% SP  线性  包含准确性  响应时间-常闭  0.003 - 100 slpm：<1秒  100 - 2500 SLPM：约<3秒

多气体多量程

标准 大压力  0.003-200 SLPM：1500 psi/103 bar  100 - 2500 SLPM：1000 psi/70 bar

可选4500 psi/310 bar，大50 SLPM 设备

控制范围  1-50 SLPM：F.S. 100：1 拒绝。   50-2500 LPM：F.S. 50：1 拒绝。

零点稳定性 < 每年0.2%的法兰西   温度系数  零：<0.05%的F.S.或C   比例：<0.1% S.P.或C

压力系数  0.03% 每 psi（0-200 psi）2)

灵敏度  <0.2% F.S.重新归零后与指定精度的大偏差

等级  大温度65或C

压差范围  控制器  0.003 - 50 lpm：5 psi / 0.35 bar    50 - 100 LPM：10 psi / 0.69 bar

500 LPM：7.5 psi / 0.52 bar  1000升/分钟：14.5 psi/1.00巴   2500液化升/分钟：35.0 psi / 2.41 bar

漏率1x10-9ATM CC/SEC 

机械  密封材料弹性体封印   接液材料  316升不锈钢  高合金不锈钢

EPDM

阀门  通常闭合  通常开放  计量器（无阀门）  诊断  诊断能力可得 状态灯

MFC 健康，网络状态  报警 传感器输出  控制阀输出

过热  电力浪涌/下落  网络中断  诊断/服务端口RS485通过2.5毫米插孔连接

电气  模拟通讯  0-5V，1-5V，0-10V，0-20mA，4-20mA

数字通讯DeviceNet™    EtherCAT®   以太网/IP™   Profibus®   PROFINET   RS-485

电气连接  DeviceNet™：1xM12，带螺纹联接螺母（B）  EtherCAT，EtherNet®/IP™：1x5针M8带螺纹联结螺母/2xRJ45

Profibus®：1x15针公头子D/1x9针母头子D线  RS485：1 x 15针公 Sub-D 型，（A）

电源-功耗  模拟 / Profibus® / RS-485   阀门孔> 0.032“：8瓦  活瓣孔≤ 0.032“：5瓦  无活瓣时：2瓦

DeviceNet™ / 以太网/IP™  阀门孔> 0.032英寸：10瓦  阀门孔≤ 0.032“：7瓦 无阀门：4瓦（DeviceNet™），3瓦（以太网/IP™）

以太猫®  阀口> 0.032“：8.5瓦   阀门孔≤ 0.032“：5.5瓦  无活瓣时：2.5瓦

承诺  认证和批准  ISO/IEC 17025：2005  CE：EMC指令2014/30/EU 指令2011/65/EU

UL（认可）：  I级，第二组，A组，B组，C组，D  级I，2区，IIC T4  级II级，22区

ATEX：II 3 G Ex nA IIC T4 Gc        IECEx：II 3 G ex nA IIC T4 Gc  KOSHA：前 IIC T4

符合环保要求  RoHS指令（2011/65/EU）  REACH 指令 EC 1907/2006  大小中等