上新 FUJIKIN富士金 DH−12LF−R 手动球形针阀

# 2026年新品发布会#

日期：2026年4月08日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

FUJIKIN富士金 DH−12LF−R 手动球形针阀

FUJIKIN富士金 DH−12LF−R 手动球形针阀

FUJIKIN（富士金） DH−12LF−R 手动球形针阀，这是一款在半导体、精细化工及分析仪器等领域备受认可的高精度流体控制元件。以下从结构特点、性能参数及应用场景三个维度进行解析。

1. 产品定位与核心结构

DH−12LF−R 属于富士金 DH 系列 的 手动球形针阀。与传统直针式针阀不同，它采用 球形针阀芯 设计（球面与阀座配合），兼具针阀的微调特性与球阀的低扭矩、高密封性优势。

型号拆解：“12"通常指接管口径（如1/4英寸或3/8英寸卡套规格）；“LF"可能代表 Low Flow（低流量）或特定密封材料；“R"表示手柄或接口方向（如右手型或特定螺纹标准）。

驱动方式：手动旋转手柄，通过精密螺纹传动使球形阀芯轴向移动，改变节流口面积，实现从全闭到全开的线性或等百分比流量调节。

2. 关键性能特点

高精度微调：球面与阀座的接触弧度经过优化，可提供比普通针阀更细腻的流量分辨率，尤其适合 1 mL/min 以下微小流量的稳定控制。

低泄漏与长寿命：阀座常用 PCTFE（聚三氟氯乙烯） 或 PEEK（聚醚醚酮） 等高分子材料，与抛光球面配合，可实现 1×10⁻⁹ Pa·m³/s 以下的氦气泄漏率（内漏与外漏）。金属密封型可选，耐受更高温度（200℃以上）。

耐腐蚀与洁净度：阀体采用 SUS316L 或 316L VAR（真空电弧重熔） 不锈钢，表面电解抛光至 Ra ≤ 0.25μm，符合半导体级高洁净度要求。适用于腐蚀性气体（如 Cl₂、HCl）及超纯水、有机溶剂。

操作扭矩低：球面结构减少了阀芯与填料的摩擦阻力，手柄旋转顺滑，便于在密闭机柜或狭小空间内频繁调节。

3. 技术参数（典型值，以数据为准）

通径：约 2–4 mm（对应 Cv 值通常为 0.05–0.2）。

压力范围：真空至 20 MPa（200 bar，视接口与温度而定）。

温度范围：-40℃ ~ 150℃（取决于阀座材料）。

接口：标准为 1/4 英寸或 3/8 英寸双卡套，兼容 Swagelok 体系；也可定制 VCR、NPT 螺纹。

4. 典型应用

半导体设备：气体分配系统（MFC 上游截止/微调）、刻蚀/ CVD 工艺气体控制。

分析仪器：气相色谱（GC）载气或分流比调节、质谱进样系统。

实验室及制药：微反应器、高压加氢装置、超临界流体系统的流量手动校准。

使用注意

安装前需确认阀座材料与介质化学相容性（如 PCTFE 不耐高温氟气）。

全关时避免过度用力，以防压坏球面或阀座。

长期在极低开度下工作可能产生“气蚀"，建议根据 Cv 值选型，避免工作在 10% 以下开度。

若需具体尺寸图、扭矩曲线或原厂3D模型，建议联系富士金代理商（如 Fujikin Shanghai）并提供完整型号后缀（如 -R-...）。此阀属于精密部件，替代品需严格比对流量系数与泄漏等级。