新品 瑞士 VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀 半导体调压隔离阀

# 2026年新品发布会#

日期：2026年8月21日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

新品 瑞士 VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀 半导体调压隔离阀

新品 瑞士 VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀 半导体调压隔离阀

传统半导体真空腔体设计，调压功能、隔离切断需要分别配置调压蝶阀加隔离阀两只阀门，法兰接头数量增多，设备体积变大，漏点增加，装配调试工作量上升。部分工艺希望单台阀门同时完成压力调节与腔体可靠隔离。瑞士 VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀实现一体化功能。

VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀集成步进电机驱动控制器，工艺阶段执行闭环调压；阀门全关位置实现可靠隔离密封，保护腔体内样品不受返气污染，无需额外配置隔离闸阀。优化密封摩擦结构，降低隔离动作带来密封件磨损，延长密封件使用寿命。不锈钢阀体，满足半导体高洁净工艺条件。支持工业总线通讯，调压、隔离动作全部程序时序控制。

多用于 MEMS 器件工艺设备、CVD 研发设备、多功能复合真空实验腔体。单阀替代双阀，精简真空管路布局，减少法兰接头，降低系统漏率风险，缩小设备整机尺寸。北崎一手渠道供应瑞士 VAT 61632‑KEAE 高压蝶式控制与隔离阀，原厂全新，面向半导体设备集成商提供工况评估与真空配件配套技术支持。