新品 EBARA 荏原 ESA70W (-D) 干式罗茨真空泵 半导体 LED 中大流量洁净真空

# 2026年新品发布会#

日期：2026年10月27日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

新品 EBARA 荏原 ESA70W (-D) 干式罗茨真空泵 半导体 LED 中大流量洁净真空设备

新品 EBARA 荏原 ESA70W (-D) 干式罗茨真空泵 半导体 LED 中大流量洁净真空设备

EBARA 荏原 ESA70W (-D) 干式罗茨真空泵，ESA 系列中大流量机型，无油多级罗茨结构，抽气量大，真空输出稳定，面向中大腔体洁净制程。整机散热能力强，适合长时间不间断运行，振动抑制到位，不会干扰精密工艺腔体。可选用耐蚀材质版本，应对少量腐蚀性气体，标配吹扫接口，方便接入氮气保护，阻挡工艺副产物沉积在转子间隙。

主流应用：半导体薄膜工艺、LED 外延与芯片制造、光伏镀膜、光学大面积蒸镀、真空热处理、锂电中试线脱气、真空封装产线等。中大腔体镀膜设备，需要真空泵快速把腔体抽到目标真空区间，缩短节拍，ESA70W (-D) 抽速充足，抽气响应快，提升设备稼动率。无油结构杜绝油分子污染膜层、芯片表面，满足光电、半导体行业严苛洁净要求，设备支持通讯对接，压力闭环控制，故障记录功能方便运维管理。北崎供应 EBARA 荏原 ESA70W (-D) 真空泵，日本原厂渠道，现货速发，原厂工程师提供工艺配套支持。很多光电设备厂、半导体配套厂商，在中型镀膜腔体、载台锁腔项目上选用这款机型。对比螺杆干泵，同抽速下采购成本更有优势，洁净轻腐蚀工况表现稳定，维护流程标准化，备件供应稳定，产线维保压力小，是洁净真空领域高性价比的干式真空方案。

北崎国际主营全品类日本和欧美工业进口设备，核心代理品牌包含：SEN 日森、CCS 晰写速、日本 MTL、NPM 日脉、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、TORAY 东丽、EBARA 荏原、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、TOKI 东机产业、HAYASHI 林时计、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、ANALYZER 第一热研、NFK 南国工业株式会社、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本、SAKAGUCHI 坂口电热、MIYUKI 美幸辉、THOMAS 托马斯。全系原厂正品、渠道稳定、现货配套、技术售后一站式服务。