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半导体晶圆量产制程中,表面微观缺陷、图形异常、颗粒污染、划痕破损等问题,是影响芯片良率的核心诱因。随着先进制程精度持续提升,传统人工目检、普通光学检测设备,普遍存在漏检率高、分辨率不足、检测效率低等短板,无法满足纳米级精密晶圆的全检管控需求。日本SCREEN斯库林晶圆外观检测仪作为半导体前道制程专用高精度视觉检测设备,依托自研高清光学成像与高速图像算法技术,实现晶圆微观缺陷的全自动、高精度、高效率筛查,广泛适配8英寸、12英寸逻辑晶圆、存储芯片、功率器件及MEMS器件的在制程检测与终检环节,是先进晶圆工厂品质管控的核心标配设备。北崎国际持有日本原厂一手货源,可为国内半导体企业、科研院所、晶圆代工产线提供原装设备、工艺适配调试与全周期维保服务。
北崎-SCREEN斯库林 晶圆外观检测仪
该设备搭载多档位高清变焦光学镜头模组,可根据检测场景自由切换分辨率,兼顾全域快速扫描与微观精准复检,平衡量产产能与检测精度。区别于常规视觉检测设备,其专属光学照明系统可多角度捕捉晶圆表面光影差异,精准识别微小颗粒、图形畸变、边缘缺损、细微划痕、膜层斑驳等各类隐性缺陷,解决传统设备对低对比度缺陷、微观浅损伤漏检、误检的行业痛点,全面覆盖晶圆制程各类外观不良问题。
北崎-SCREEN斯库林 晶圆外观检测仪
设备搭载SCREEN自研高速图像处理引擎,运算响应速度行业,不受晶圆芯片尺寸、排布数量影响,可保持稳定高吞吐检测效率,适配产线24小时不间断批量质检作业。整机采用非接触式无损检测模式,全程无机械接触、无压力损伤,不会破坏晶圆表层精密结构与薄膜涂层,契合先进制程无损生产规范。同时设备支持自定义缺陷判定标准,可针对不同制程工艺、晶圆材质、器件类型灵活适配检测方案,兼容性强。
在智能化管控层面,设备具备全自动晶圆搬运、对位扫描、缺陷定位、分类归档功能,可精准标记缺陷坐标、统计不良类型、生成可视化检测报告,实现检测数据全流程溯源,为制程工艺优化、设备参数微调、不良品拦截提供精准数据支撑。设备整体采用高洁净模块化机身设计,密闭性优异、无微粒析出,适配超高洁净车间工况,杜绝检测过程二次污染晶圆,保障量产品质稳定。
当前国内半导体产能持续扩容,晶圆外观全检的精度与效率要求不断升级,SCREEN斯库林外观检测仪凭借高精准、高稳定、高效率的核心优势,成为制程品质管控的关键设备。北崎国际依托原厂直供渠道,省去多层分销溢价,货源稳定可溯源,可提供设备选型、产线调试、工艺优化、备件更替一站式服务,助力国内半导体产线实现精细化、智能化品质管控升级。