产品中心/ PRODUCTS

我的位置:首页  >  产品中心  >  SCREEN斯库林  >  晶圆外观检测仪  >  ZI-2000北崎-SCREEN斯库林 晶圆外观检测仪
北崎-SCREEN斯库林 晶圆外观检测仪
  • 产品型号:ZI-2000
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-07-28
  • 访  问  量:5
简要描述:

北崎-SCREEN斯库林 晶圆外观检测仪
日本SCREEN斯库林晶圆外观检测仪作为半导体前道制程专用高精度视觉检测设备,实现晶圆微观缺陷的全自动、高精度、高效率筛查,广泛适配8英寸、12英寸逻辑晶圆、存储芯片、功率器件及MEMS器件的在制程检测与终检环节,是先进晶圆工厂品质管控的核心标配设备。北崎国际持有日本原厂一手货源,可为国内半导体企业、科研院所、晶圆代工产线提供原装设备、工艺适配调试服务。

在线咨询

联系电话:13910916953

产品详情

半导体晶圆量产制程中,表面微观缺陷、图形异常、颗粒污染、划痕破损等问题,是影响芯片良率的核心诱因。随着先进制程精度持续提升,传统人工目检、普通光学检测设备,普遍存在漏检率高、分辨率不足、检测效率低等短板,无法满足纳米级精密晶圆的全检管控需求。日本SCREEN斯库林晶圆外观检测仪作为半导体前道制程专用高精度视觉检测设备,依托自研高清光学成像与高速图像算法技术,实现晶圆微观缺陷的全自动、高精度、高效率筛查,广泛适配8英寸、12英寸逻辑晶圆、存储芯片、功率器件及MEMS器件的在制程检测与终检环节,是先进晶圆工厂品质管控的核心标配设备。北崎国际持有日本原厂一手货源,可为国内半导体企业、科研院所、晶圆代工产线提供原装设备、工艺适配调试与全周期维保服务。

北崎-SCREEN斯库林  晶圆外观检测仪

该设备搭载多档位高清变焦光学镜头模组,可根据检测场景自由切换分辨率,兼顾全域快速扫描与微观精准复检,平衡量产产能与检测精度。区别于常规视觉检测设备,其专属光学照明系统可多角度捕捉晶圆表面光影差异,精准识别微小颗粒、图形畸变、边缘缺损、细微划痕、膜层斑驳等各类隐性缺陷,解决传统设备对低对比度缺陷、微观浅损伤漏检、误检的行业痛点,全面覆盖晶圆制程各类外观不良问题。

北崎-SCREEN斯库林  晶圆外观检测仪

设备搭载SCREEN自研高速图像处理引擎,运算响应速度行业,不受晶圆芯片尺寸、排布数量影响,可保持稳定高吞吐检测效率,适配产线24小时不间断批量质检作业。整机采用非接触式无损检测模式,全程无机械接触、无压力损伤,不会破坏晶圆表层精密结构与薄膜涂层,契合先进制程无损生产规范。同时设备支持自定义缺陷判定标准,可针对不同制程工艺、晶圆材质、器件类型灵活适配检测方案,兼容性强。

在智能化管控层面,设备具备全自动晶圆搬运、对位扫描、缺陷定位、分类归档功能,可精准标记缺陷坐标、统计不良类型、生成可视化检测报告,实现检测数据全流程溯源,为制程工艺优化、设备参数微调、不良品拦截提供精准数据支撑。设备整体采用高洁净模块化机身设计,密闭性优异、无微粒析出,适配超高洁净车间工况,杜绝检测过程二次污染晶圆,保障量产品质稳定。

当前国内半导体产能持续扩容,晶圆外观全检的精度与效率要求不断升级,SCREEN斯库林外观检测仪凭借高精准、高稳定、高效率的核心优势,成为制程品质管控的关键设备。北崎国际依托原厂直供渠道,省去多层分销溢价,货源稳定可溯源,可提供设备选型、产线调试、工艺优化、备件更替一站式服务,助力国内半导体产线实现精细化、智能化品质管控升级。

晶圆图案检测系统

ZI-2000

紧凑设计,提供更高的速度和成本效益

  •  北崎-SCREEN斯库林  晶圆外观检测仪


1. ZI-2000可用于多种工艺,从前端晶圆工艺的工艺中检验(需要灵活性)到最终目视检查(速度至关重要)。

2. 检测头采用专有的透镜/照明系统和高速图像处理引擎,实现不受晶圆芯片大小或数量影响的高通量。

3. 通过无需与参考图像比较的检测方法,检测配方便于快速检测新晶圆。

4. 所有检查结果均可实时确认。该单元的实时ADC(自动缺陷分类)功能使检测结束后仅能检查所需的结果。

规格

晶圆尺寸φ3到φ8英寸(φ76到φ200毫米)
转会机器人转移系统
检测方法比较(死对死,细胞对细胞)
光源RGB 三色 LED 照明(三种颜色可选)
光学分辨率1.5微米×1.5微米
4微米×4微米
尺寸(WxDxH)1,400毫米×1,250毫米×2,030毫米

 

北崎-SCREEN斯库林  晶圆外观检测仪







在线咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7