上海晶品众半导体 核心业务

北崎国际贸易（北京）有限公司 供货

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上海晶品众半导体是一家专注于化合物半导体（如碳化硅SiC、氮化镓GaN）及特种工艺的制造企业，主要面向功率器件和射频芯片领域。

核心产品与工艺：

公司主要从事6/8英寸SiC肖特基二极管（SBD）、MOSFET，以及GaN HEMT的晶圆代工。核心工艺包括：离子注入（高温/多能量）、高温激活退火（>1600℃）、厚膜栅氧生长、金属欧姆接触及钝化层沉积。

关键设备：

注入与退火：使用高温离子注入机（如Axcelis、Nissin）、高温退火炉（如高温RTP或箱式炉）。

薄膜与刻蚀：PECVD、LPCVD用于沉积氧化硅/氮化硅；采用ICP-RIE（感应耦合等离子刻蚀机）进行SiC/GaN的干法刻蚀。

栅氧与金属：使用原子层沉积（ALD）或炉管生长高质量栅氧；电子束蒸发（E-beam）或磁控溅射沉积金属电极（如Ni/Ti/Al）。

检测：配备原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）及高压I-V/C-V测试系统。

整体来看，其产线需耐高温、高能注入及低损伤刻蚀能力，工艺复杂度高于传统硅基线。