新品 EBARA 荏原 EST500WN 干式螺杆真空泵 半导体化工重载耐腐真空设备

# 2026年新品发布会#

日期：2026年10月22日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

新品 EBARA 荏原 EST500WN 干式螺杆真空泵 半导体化工重载耐腐真空设备

新品 EBARA 荏原 EST500WN 干式螺杆真空泵 半导体化工重载耐腐真空设备

EBARA 荏原 EST500WN 干式螺杆真空泵，EST 系列重载主力机型，超大抽速，专为高流量、含粉尘、腐蚀性尾气的严苛工艺打造，无油干式结构，泵体镍抗蚀铸铁材质，抗酸碱尾气、粉体冲刷能力强。螺杆转子精密加工，非接触运转，无润滑油参与真空腔，杜绝油污染风险，是洁净工艺、腐蚀工艺兼顾的机型。负载自适应变频控制，高负载全力抽气，低负载进入节能怠速，长期运行能耗优势明显。

主要应用于半导体量产线刻蚀、LPCVD 配套排气、光伏大腔体镀膜、LED 外延炉排气、精细化工连续蒸馏、医药原料药批量真空干燥、锂电材料脱气、特种粉体热处理等领域。这类大腔体、大排气量工艺，对真空泵持续稳定输出能力要求高，EST500WN 连续 24 小时运转稳定性强，真空波动小，保障每一批次工艺参数一致。设备支持远程信号采集，故障日志存储，方便设备运维人员预判保养节点，降低突发停机概率，符合无尘车间安全管控标准。北崎供应 EBARA 荏原 EST500WN 真空泵，日本原厂货源，现货供应，原厂技术支持，可配套前置分离、冷凝、吹扫附件选型。

半导体、化工大型产线扩容项目，经常选用该型号替代传统罗茨干泵机组，减少机组故障点，简化管路和控制，节约车间占地。针对高浓度溶剂蒸汽工况，前置冷阱回收溶剂，既保护真空泵，又提升原料回收率，兼顾生产效益与设备寿命。

北崎国际主营全品类日本和欧美工业进口设备，核心代理品牌包含：SEN 日森、CCS 晰写速、日本 MTL、NPM 日脉、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、TORAY 东丽、EBARA 荏原、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、TOKI 东机产业、HAYASHI 林时计、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、ANALYZER 第一热研、NFK 南国工业株式会社、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本、SAKAGUCHI 坂口电热、MIYUKI 美幸辉、THOMAS 托马斯。全系原厂正品、渠道稳定、现货配套、技术售后一站式服务。