新品 EBARA 荏原 ESA15-D 干式罗茨真空泵 半导体 LED 洁净制程真空设备

# 2026年新品发布会#

日期：2026年10月22日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

新品 EBARA 荏原 ESA15-D 干式罗茨真空泵 半导体 LED 洁净制程真空设备

新品 EBARA 荏原 ESA15-D 干式罗茨真空泵 半导体 LED 洁净制程真空设备

EBARA 荏原 ESA15-D 干式罗茨真空泵，ESA 系列中小流量机型，专为洁净、轻腐蚀气体工况设计，多级罗茨干式无油结构，抽气稳定，适合对洁净度要求高、不允许油污染的工艺场景。整机结构紧凑，散热设计优秀，长时间连续工作温升可控，运行振动低、噪音柔和，适合洁净车间、实验室、精密产线使用。可选耐蚀材质配置，应对少量腐蚀性工艺气体，支持 N2 吹扫接口，进一步保护转子与腔体。

 典型应用行业：半导体负载锁、检测设备配套、LED 芯片封装、光学镀膜、科研实验室真空系统、分析仪器负压配套、锂电小型实验线、食品原料真空脱泡等。很多精密镀膜、光学元件蒸镀工艺，一旦油雾反流会直接造成镜片报废，ESA15-D 无油结构从根源规避该风险。设备自带标准通讯端口，可接入产线 PLC，实现真空压力闭环控制，具备过载、过热、低压报警保护，安全机制，满足 SEMI、CE 工业标准。北崎供应 EBARA 荏原 ESA15-D 真空泵，日本原厂渠道，现货可发，配套原厂技术选型与调试指导。

很多设备集成商、科研院所、光学镀膜厂商，在小型腔体真空系统、样机开发、测试平台上选用这款机型。对比小型螺杆干泵，ESA15-D 在轻载洁净工况性价比突出，维护简单，常规保养周期长，减少实验室和小批量产线的运维工作量，同时体积小巧，方便集成在设备机架内部。

北崎国际主营全品类日本和欧美工业进口设备，核心代理品牌包含：SEN 日森、CCS 晰写速、日本 MTL、NPM 日脉、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、NEWKON 新光、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、TORAY 东丽、EBARA 荏原、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、EYE 岩崎、REVOX 莱宝克斯、TOKI 东机产业、HAYASHI 林时计、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、ANALYZER 第一热研、NFK 南国工业株式会社、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本、SAKAGUCHI 坂口电热、MIYUKI 美幸辉、THOMAS 托马斯。全系原厂正品、渠道稳定、现货配套、技术售后一站式服务。