美国Entegris 在线气体过滤器 杭州
Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器可靠地去除流速高达 30 slpm 的惰性气体中的颗粒。

美国Entegris   在线气体过滤器  杭州

美国Entegris   在线气体过滤器  杭州

Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器可靠地去除流速高达 30 slpm 的惰性气体中的颗粒。

提供高效、低成本的惰性气体使用点过滤 > 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 μm 的颗粒

应用Wafergard® GT-Plus 在线气体过滤器应用低进气过滤器 晶圆传输系统 清洁干燥空气 （CDA）

产品规格材料 膜： 疏水性含氟聚合物 PTFE   支架、外壳： PFA 系列  推荐流速 30 slpm 

连接 1/8“、1/4" 压缩密封  膜面积 12 厘米2（1.9 英寸2)  

颗粒截留 >99.99999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在具穿透性的颗粒尺寸下验证） 

工作条件 最大工作压力： 20°C 时为 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）

 最大正向压差： 20°C 时为 0.34 MPa（3.4 bar，50.0 psid） 

最大反向压差： 20°C 时为 0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）  最高工作温度： 50°C （122°F） 

尺寸 长度： 1/8“ 密封件：69 毫米（2.7 英寸） 1/4 英寸密封件：71.5 毫米（2.8 英寸） 

直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）