美国Entegris 在线气体过滤器 郑州
Wafergard® II SF Micro XL 在线气体过滤器，Wafergard II SF Micro XL 在线气体过滤器是全不锈钢结构的高纯度气体系统的过滤器。

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Wafergard® II SF Micro XL 在线气体过滤器，Wafergard II SF Micro XL 在线气体过滤器是全不锈钢结构的高纯度气体系统的过滤器。®

最进的外壳组件通过最大限度地减少焊接面积来消除脱气

全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择

紧凑的尺寸和灵活的接头选择提供了高的设计效率，并最大限度地降低了工程成本

Wafergard® II SF Micro XL 在线气体过滤器应用超高纯气体管线

高温应用 新晶圆厂建设 动态压力应用 惰性和反应性气体

产品规格材料 滤芯 不锈钢膜过滤器  住房 电解抛光VAR316L不锈钢 

下游清洁度 粒子 <0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺3） >0.01 微米 

 挥发 物 <10 ppb 水分  去除等级 ≥0.0015 微米 

内饰表面光洁度 ≤5.00 μin Ra  氦气泄漏等级 合格 2 x 10-10 大气压 CC/秒 

 测试 1 x 10-9大气压 CC/秒     最大工作条件 最大入口压力： 20 MPa （200 barg;2900 psig） @ 20°C （68°F） 

 最大正向/反向压差： 1 MPa （10 bar;150 psid） 

 最高工作温度： 460°C （860°F） @ 35 巴 （500 psi）   保证 2 年 

颗粒截留 大于 99.9999999% （9 LRV） 去除所有颗粒  流量等级 请参阅性能数据