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美国Entegris 在线气体过滤器 华东
美国Entegris 在线气体过滤器 华东
Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器,非常适合需要高颗粒去除效率且全不锈钢结构的高纯度气体系统。
全 316L 不锈钢结构与大多数半导体工艺气体具有良好的化学相容性
专门的清洁和高温烘烤可实现的初始清洁度,从而实现快速气体启动
高流速/低压降特性适用于低蒸气压气体 高颗粒去除效率减少了晶圆上的缺陷,提高了产量
提供标准和加长 (XL) 长度 Wafergard® II SF Mini/Mini XL 在线气体过滤器应用超纯气体管线 高温应用 动态压力应用 惰性和反应性气体* 气柜 燃气板 阀岛箱 联播 *不兼容 O3
产品规格材料 滤芯 316L 不锈钢 外壳、端盖 低硫 316L 不锈钢
初始下游清洁度 ≤0.03 个颗粒/升(≤1 个颗粒/英尺3) ≥ 0.01 μm 去除等级 ≥0.0015 微米
颗粒截留 在 30 slm (Mini) 和 60 slm (Mini XL) 下去除所有颗粒的去除率超过 99.9999% (6 LRV);以具穿透力的粒径为参考 内饰表面光洁度 ≤5 μin Ra
氦气泄漏等级 合格 2 x 10-11帕米3/秒 (2 x 10-10 大气压 cc/sec)
测试 9 × 10-10帕米3/秒 (9 x 10-9大气压 cc/sec)
最大条件 最大工作压力: 16.2 MPa (162 bar, 2346 psig) @ 20°C (68°F)
最大正向/反向压差: 3 MPa(30 巴,435 psid)@ RT
最高工作温度: 惰性气体:400°C (752°F)
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