OHKURA大仓 质量流量控制器
MF1100B型号质量流量控制器具备扩展量程能力，最高可达20标准立方米/小时（SLM），具有更高的温度稳定性及多种功能。

概述

MF1100B型号质量流量控制器具备扩展量程能力，最高可达20标准立方米/小时（SLM），具有更高的温度稳定性及多种功能。

OHKURA大仓   质量流量控制器

功能特性

最小流量范围为5 SCCM，最高可达20 SLM，紧凑尺寸。

标准软启动功能

最小泄漏量为1.013×10図'図Pa· m²/s(氢气)

注l:标准范围使用氮气校准。服务气体可能导致范围变化。

OHKURA大仓   质量流量控制器

SCCM:标准立方厘米每分钟，温度0C，气压1013百帕。SLM:标准升每分钟，温度0C，气压1013 hPa

注释2:(NC):正常关闭

(NO):正常开启

流量值会因气体的不同而有所变化。服务气体流量与氮气流量之比提供了一个转换系数(CF)。型号MF1100A质量流量控制器在出厂时以氮气进行了校准。若需将仪器指示的气体类型更换为其他气体，则需通过转换系数(CF)进行修正。

当使用针对气体"A"至气体"B"进行校准的仪器时，实际流量"QB"即"B"气体相对于"A"气体流量读数"QA"的实际流量值，可通过以下方式根据每个转换系数进行计算:

QB= QA .CFB/CFA

如需提高精度，建议使用服务气体重新校准。

MF1100B型号质量流量控制器具备扩展量程能力，最高可达20标准立方米/小时（SLM），具有更高的温度稳定性及多种功能。