OHKURA大仓 质量流量控制器 衢州
MF5100B型号质量流量控制器具备高达400标准立方米/小时的扩展量程、更高的温度稳定性以及多种功能。

MF5100B型号质量流量控制器具备高达400标准立方米/小时的扩展量程、更高的温度稳定性以及多种功能。

OHKURA大仓   质量流量控制器 衢州

功能特点

最小流量范围为5SCCM，最高可达400SLM，紧凑尺寸。

标准软启动功能

最小泄漏量为1.013x10'Pa.m3/s(氦气)

OHKURA大仓   质量流量控制器 衢州

主1:标准量程使用空气或氮气校准。这些量程可能在服务气体中发生变化。

SCCM;标准立方厘米每分钟，温度0C，压力1013hPaSLM:标准升每分钟，温度0C，气压1013hPa注2:在最小压差下运行时，若二次压力低于真空，请咨询Ohkura或其代理机构，如果二次压力为负值。

注3:所示规格表示因压力变化引起的质量流量最大变化量以及最大压差。

注4:如需可选工艺材料，请咨询ohkura或其代理。

注5:仅提供正常关闭型号。

注6:仅支持0至5V直流输出。

流量会因气体而变化。服务气体的流量与氮气流量之比提供了一个转换因子(CF)。

MF5100B型质量流量控制器出厂时使用氮气校准。若服务气体与仪表上标注的气体不同，则需通过转换因子(CF)进行修正。

当使用针对气体"A"至气体"B"进行校准的仪器时，实际流量"QB"即"B"气体相对于"A"气体流量读数"QA"的实际流量值，可通过以下方式根据每个转换系数进行计算:

QB=QA.CFB/CFA

如需提高精度，我们建议使用服务气体重新校准。