美国Entegris 气体过滤枪
Wafergard® GN 气体过滤枪这款易于使用、轻便的气体过滤枪设计用于半导体应用中压缩气体的 POU 过滤。

美国Entegris   气体过滤枪

美国Entegris   气体过滤枪

Wafergard® GN 气体过滤枪这款易于使用、轻便的气体过滤枪设计用于半导体应用中压缩气体的 POU 过滤。

PTFE 膜可消除颗粒脱落，在气体应用中的额定颗粒截留率为 0.003 μm

提供 10 厘米2有效过滤面积，可实现高流速和更有效的晶圆清洁，滤芯经过 100% 预测试和预冲洗，以确保可靠的性能，白色尼龙结构在酸和大多数溶剂应用中具有耐腐蚀性，应用Wafergard® GN 气体过滤枪

应用  大宗气体输送  口供  干法蚀刻  离子注入  光刻

产品规格  材料 枪 本体、触发器 白色尼龙模压本体   阀门系统 不锈钢 304 

O 型圈 EPDM 三元乙丙橡胶   配管 聚氨酯   Catridge 过滤器 膜 聚四氟乙烯   Shell， 支持 聚丙烯 

作条件： 最大正向压差 0.4 MPa @ 20°C （68°F）   最大反向压差 0.03 MPa @ 20°C （68°F） 

带过滤器的最高工作温度 50°C （122°F）   重量： 约 150 克（5.29 盎司）   

连接： 过滤枪 1/4 NPTF 入口 NPT 内螺纹 

保留： 对所有颗粒的去除率大于 99.9999999%（以具穿透力的颗粒尺寸为参考） 

 Wafergard®GN气体过滤枪部件号

零件编号及选择选项

PO3203J           扳机维修套件（包括1个扳机、1个弹簧和1个0形圈）

WGFG01KLO    Wafergard GN气体过滤枪，10个/包

WGFG01KL5    Wafergard GN 过滤器 5/包

WGGB01KAG   Wafergard GN气体枪

WGGB01KAN  Wafergard GN气体过滤枪

XX67000WH   带接头的聚氨酯管，2/1m/7ft

XX671000T     螺旋管1/40DX5M