美国Entegris 在线气体过滤器 宁波
Wafergard® GN 气体过滤枪这款易于使用、轻便的气体过滤枪设计用于半导体应用中压缩气体的 POU 过滤。

美国Entegris   在线气体过滤器 宁波

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Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器 适用于高温、超纯气体应用的颗粒过滤。

专为高温 TEOS 和高达 200°C （392°F） 的高 k 应用而设计  整体设计 （148 mm [5.82“]） 是类似过滤器的直接替代品，紧凑的尺寸适合许多现有的输送系统，并提供设计灵活性和多功能性

特殊烘烤可实现快速气体输送启动，，低压差提供稳定和改进的材料输送

应用Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器应用用于 CVD 工具的使用点过滤器

TEOS 和高 k 等高温应用  热 N2应用

产品规格 材料 膜 聚四氟乙烯   支持 PFA 系列   外壳 316L 不锈钢 

去除颗粒等级 ≥0.0015 微米   颗粒截留 ≥99.9999999% @ 25°C （77°F） 

初始下游清洁度 大于 0.01 μm 的 ≤0.03 个颗粒/升   内表面光洁度 ≤7 μin Ra （Ra <0.17 μm） 

连接 1/2“ 密封外螺纹垫圈（兼容 VCR）®   

工作条件

 最大工作压力 0.99 MPa （9.9 bar;143.15 psig） @ 0° 至 200°C（0° 至 392°F） 

 最大正向压差 0.70 MPa （7 bar;101.5 psid） @ 0° 至 40°C （0° 至 104°F） 

   0.08 MPa （0.8 bar;11.6 psid） @ 200°C （392°F）   最高工作温度 200°C （392°F） 惰性气体 

氦气泄漏等级 <1 x 10-10帕米3/秒   流量等级 请参阅性能数据 

Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器零件编号

      零件编号                                          长度

WGMXMPRR4HT                    127 毫米(5.00 英寸)

WGMXMPRR4HTL                  148 毫米(5.83 英寸)