美国Entegris 在线气体过滤器 衢州
Wafergard® GTL 在线气体过滤器，可靠地去除流速高达 80 slpm 的惰性气体中的颗粒。

美国Entegris   在线气体过滤器 衢州

美国Entegris   在线气体过滤器 衢州

Wafergard® GTL 在线气体过滤器，可靠地去除流速高达 80 slpm 的惰性气体中的颗粒。

提供高效、低成本的惰性气体使用点过滤  >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒

应用Wafergard® GTL 在线气体过滤器应用低进气过滤器 晶圆传输系统 清洁干燥空气 （CDA）

产品规格材料 膜： 疏水性含氟聚合物 PTFE  支架、外壳： 聚砜 

推荐流速 80 slpm  连接 Rc1⁄4 （PT1⁄4 内螺纹）， 1⁄4“ NPT 内螺纹   膜面积 25 厘米2（3.9 英寸2) 

颗粒截留 >99.99999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在具穿透性的颗粒尺寸下验证） 

工作条件 最大工作压力： 20°C 时为 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid） 

 最大正向压差： 20°C 时为 0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid） 

 最大反向压差： 20°C 时为 0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）    最高工作温度： 50°C （122°F） 

尺寸 直径： 25 毫米（0.98 英寸）    长度： 101 毫米（4.0 英寸）