美国Entegris 在线气体过滤器 深圳
Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器，在气柜、气柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方实现颗粒过滤。

美国Entegris   在线气体过滤器 深圳

美国Entegris   在线气体过滤器 深圳

Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器，在气柜、气柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方实现颗粒过滤。

紧凑的装置减少了气室的整体占地面积，节省了宝贵的设备空间

PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量  低压降降低了低蒸气压气体中冷凝的风险

与所有类型的半导体工艺气体具有出色的兼容性  适用于惰性和反应性气体，包括臭氧

应用Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器应用臭氧应用（气体）

气柜 超纯气体系统 阀岛箱 燃气板 产品规格材料 滤芯 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜 

住房 电解抛光 316L 不锈钢  下游清洁度 粒子 <0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺3） >0.01微米 

挥发 物 <10 ppb 水分  去除等级 0.0015 微米  内饰表面光洁度 ≤10 μin Ra 

氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10自动取款机/CC-秒  测试 1 × 10-9自动取款机/CC-秒 

工作条件 最大入口压力： 20.7 MPa （207 barg;3000 psig） @ 23°C （73°F） 

最大正向压差： 0.4 MPa （4 bar;60 psid） @ 23°C （73°F） 

最大压差： 0.07 MPa （0.7 bar;10 psid） @ 23°C （73°F）   最高工作温度： 120°C （248°F） 

颗粒截留 大于 99.99999999% （9 LRV） 去除所有颗粒 @ 100 slpm（以具穿透力的颗粒尺寸为参考） 

流量等级 请参阅性能数据