美国Entegris 在线PTFE气体过滤器 北京
Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器，这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，可在超纯气体应用以及一般氮气和 CDA 应用中提供的颗粒过滤。

美国Entegris   在线PTFE气体过滤器 北京

美国Entegris   在线PTFE气体过滤器 北京

Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器，这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，可在超纯气体应用以及一般氮气和 CDA 应用中提供的颗粒过滤。

PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色，专为高流量和低压差应用而设计，适用于惰性和反应性气体，包括臭氧

经过预处理，可快速启动（仅限银牌），应用Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用与所有类型的半导体工艺气体兼容，与一般氮气和 CDA 应用兼容

产品规格材料

 滤芯 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜   其外壳 电解抛光低硫 316L 不锈钢外壳 

下游清洁度 粒子 低于 0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺）3） 大于 0.01 μm 

  挥发物（银） <10 ppb H2O 和 O2.低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb） 

去除等级 ≥0.0015 微米   内饰表面光洁度 WGMX （铜牌） MB XXXX ≤20 μin Ra 

  WGMX （银牌/铜牌 Plus） MS XXX/XXX ≤7 μin Ra   氦气泄漏等级 合格 2 x 10-10ATM-CC/秒 

  测试 1 x 10-9ATM-CC/秒 

工作条件  最大入口压力  银级和铜级以及 1⁄4“ 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）® 

 青铜 1⁄4“ 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig） 

 青铜和青铜加上 1⁄4“、3⁄8" 和 1⁄2“ 世伟洛克兼容接头：6.0 MPa（60 bar，870 psig）® 

  最大正向压差 7 巴 （102 psid）   最大反向压差 2.5 巴（36 磅/平方英寸） 最高工作温度 120°C （248°F） 

流量等级 请参阅性能数据   保证 青铜 1 年   银 3 年 

颗粒截留 对所有颗粒的去除率大于 99.9999999% （9 LRV）（以具穿 透力的颗粒尺寸为参考） 

Wafergard®MAX在线PTFE气体过滤器