美国Entegris 在线PTFE气体过滤器 宁波
Wafergard® MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器，这些在线气体过滤器采用由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜，可在超纯气体应用中提供颗粒过滤。

美国Entegris   在线PTFE气体过滤器 宁波

美国Entegris   在线PTFE气体过滤器 宁波

Wafergard® MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器，这些在线气体过滤器采用由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜，可在超纯气体应用中提供颗粒过滤。

过滤面积大，过滤量大 3 倍，压降低，流量大

与当前过滤器的长度尺寸相同，无需更改气体面板或输送系统的设计即可轻松实施

延长过滤器使用寿命，比上一代产品长 3 倍，应用Wafergard® MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器应用SiCl 的过滤4、GeCL4,和 POCl3 

光纤应用  石英玻璃应用  产品规格材料 膜 由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜  住房 316L 不锈钢 

O 型圈 封装氟橡胶 （E-FKM）   内饰表面光洁度 ≤25 μin Ra （RR4， SS4）， ≤7 μin Ra （RR6） 

去除等级 ≥99.9999999% 去除气体中 ≥0.0015 μm 颗粒   

下游清洁度 <0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺3） >0.01 微米 

最大工作条件 最大入口压力 37 巴（538 磅/平方英寸）   最大正向压差 3.9 巴（57 磅/平方英寸） 

最大反向压差 2.5 巴 （36 psid）/RR4，不锈钢 4 0.5 巴 （7 psid）/RR6 

最高工作温度 120°C （248°F）   氦气泄漏等级 1 × 10-10上午3/秒  保证 1 年