美国Entegris 微型在线气体过滤器 北京
Wafergard® II F 微型在线气体过滤器，这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体，与所有类型的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。

美国Entegris   微型在线气体过滤器 北京

美国Entegris   微型在线气体过滤器 北京

Wafergard® II F 微型在线气体过滤器，这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体，与所有类型的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。

PTFE 膜提供高效过滤 低压降降低了在低蒸气压气体中冷凝的风险  与所有类型的半导体工艺气体具有出色的兼容性

适用于惰性和反应性气体，包括臭氧  应用Wafergard® II F 微型在线气体过滤器应用生命科学应用

臭氧应用（气体）  气柜和面板  超纯气体系统 内部工艺工具 产品规格材料   滤芯

  由模制 PFA 结构支撑的疏水性 PTFE 膜  外壳 电解抛光 VAR 316L 不锈钢 

下游清洁度  低于 0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺）3） 大于 0.01 μm 

 挥发 物 <10 ppb 水分  去除等级 ≥0.0015 微米   内饰表面光洁度 ≤7 μin Ra  

氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10cc/秒   测试 1 × 10-9cc/秒  

工作条件 最大入口压力 207 巴 （3000 psig） @ 23°C （73°F） 最大正向压差 4 巴 （60 psid） @ 23°C （73°F）

   最大反向压差 0.07 MPa （0.7 bar，10 psid） @ 23°C （73°F）  最高工作温度 120°C （248°F） 

颗粒截留  对所有颗粒的去除率大于 99.9999999% （9 LRV） @ 30 slpm（以具穿透力的颗粒尺寸为参考） 

流量等级 请参阅性能数据